什么是UVLED解胶机？半导体晶圆行业UV脱胶机的应用

发布日期：2021-07-03 作者：汪超点击：535

UVLED解胶机是一种将UV切割膜胶带表面固化，从而完成晶圆芯片自动解胶的光源固化设备，是一种冷光源LED紫外线解胶固化灯。UVLED解胶机的标准产品为365nm波段的紫外固化设备，可根据客户实际使用工况提供365nm、385nm、395nm和405nm波段的光源解胶机。主要应用在半导体芯片的生产加工过程中，在芯片划片前，需要将晶圆用划片胶膜固定在框架上，在进行完划片加工工艺后，这时需要用到紫外线光源对固定住的划片胶膜进行照射，使胶膜上的UV胶水完成固化，方便晶圆切片进行后续的封装工序。

UVLED解胶机的应用行业有哪些？

UV解胶机在晶圆封装行业广泛使用，像陶瓷切割、玻璃加工等工艺都能用到紫外解胶工序，也有一些光学镜头、LED集成芯片、线路板等半导体材料UV脱胶也都可以使用到。

晶圆切片UVLED脱胶机的优势

目前市面上的UV解胶机大部分用的都是汞灯光源，在使用过程中会产生大量的热，很容易对晶圆切片和其他热敏材质造成损坏，同时因为使用效率低，对产品质量很难控制，非常不适合LED芯片和高精密电子器材进行表面固化。复坦希电子科技，采用单波段UVLED紫外光源对产品进行低温照射，被照射的物体表面升温不超过5摄氏度，轻松完成晶圆加工行业的UV胶膜的脱胶工艺，对产品也不会产生伤害，极大的满足了晶圆加工的生产需求。

复坦希UVLED解胶机的特点

1、设备小巧，适合6/8/10/12寸晶圆芯片整片照射使用；

2、智能控制面板，可自由设定照射时间和功率大小；

3、照射模式，自下往上照射，方便晶圆切片放置和取出；

4、使用寿命是普通UV汞灯的10倍以上，平均使用寿命约为20000h；

5、无需维护成本，无需频繁更换光源照射头；

6、采用封闭式模块设计，手动/半自动模式，无紫外线光源侧漏，对人体无损伤；

7、LED冷光源照射模式，具有温度低、曝光均匀、结构紧凑、低能耗、是半导体行业的理想机型，且低温对热敏材料无损害，是一种安全环保型产品。

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